案例分享:兆和為電子制造企業打造排放達標、運行經濟的VOCs治理系統

半導體行業VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序。在這些工序過程中,使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量的有機成分,這些有機溶劑大部分會揮發到空氣中,逸散在生產車間內,不僅會對員工身體造成很大的傷害,也會對周圍環境造成很大的污染。為改善某半導體制造企業生產車間環境,兆和針對該項目廢氣特點為企業設計了一套VOCs治理系統,經系統處理后的尾氣濃度遠低于國家及地方標準,同時大幅降低了企業的運行成本。

某半導體制造企業轉輪+RTO廢氣處理系統

項目概況
本項目有機廢氣主要成分包括異丙醇(約占75~80%)、丙酮(約占15~20%)、光刻膠(約占5~10%)及其他需特殊處理組分,平均濃度≤350mg/m3。
工藝選擇原則:
(1) 保障系統安全、穩定、達標運行;
(2) 不影響甲方的生產工藝和質量;
(3) 采用成熟的技術及設備,實現系統的安全穩定運行;
(4) 系統布置便于安裝、操作及檢修,便于運行管理。

兆和解決方案
本項目針對客戶車間尾氣,整體設計處理能力85000Nm3/h,采用了兆和特殊設計的預處理+沸石轉輪系統+RTO+余熱利用系統,使處理之后的排放濃度常年低于5mg/m3,治理排放指標遠遠優于國家及地方最新排放標準。相較于該行業傳統的治理工藝——直燃爐TO技術,當前使用的處理工藝能夠節省大量運行費用,根據目前項目的運行數據測算(對比該客戶其他廠區運行數據),燃氣費用可節省60%-65%。

項目風采

兆和歷經28年發展,憑借優秀的系統工藝設計、項目組織管理能力,已成為一汽解放、阿克蘇諾貝爾、中糧集團、東陽光藥業等行業龍頭企業的合作伙伴,為客戶提供了多套安全、高效、節能的VOCs系統解決方案,積累了豐富的項目設計和實施經驗。兆和持續為客戶創造價值,助力雙碳目標達成。

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